《集成电路工艺基础》教学总结

一、课程基本情况

课程类别：专业课

性质：必修课

教学目标：

教学目标1：培养科学观察和思维的能力，了解并掌握集成电路制造关键工艺的基本原理、方法、用途；熟悉主要工艺设备及检测仪器；能够简要叙述典型集成电路芯片的制造流程；

教学目标2：掌握芯片制造关键环节薄膜制备、光刻、刻蚀和掺杂工艺流程及关键技术点；掌握组装工艺的工艺流程。培养学生认真严谨的学习和工作态度，为今后从事集成电路制造行业工作打下良好的基础。

二、教学运行情况分析

（一）以学为中心的课堂教学方法/手段情况分析

“以学为中心”的课堂中，主要以学生团队合作、与教师之间互动的形式进行学习。学生在互动中能学习到更多知识，获得更具体的学习体会。一方面，教师将自身丰富的专业知识传递给学生。另一方面，学生作为初次涉及《集成电路工艺基础》课程的学习者，常常会突破专业界限，产生一些有创意的想法可供教师借鉴。同时，结合课程特点，针对课程中的不同内容，设计不同的授课思路，以期取得较好的效果。根据因材施教和以应用为导向的原则进行教学设计，授课时淡化公式的数学推导，重点强调物理意义、设计方法和应用领域，注重课程思政的融入，学生之间的相互交流和相互学习会极大地促进其对课程内容的认知，加深对所学专业理论知识的理解。

（二）课程思政的“融入”设计与实施情况分析

课堂教学中引入思政元素，通过介绍集成电路工艺制作过程，引导学生认识到集成电路在科技前沿中的重要地位，建立国家科技研究的责任感与使命感。讲解课程前言时，通过讲授课程专业方向、科技前沿、励志故事等，弘扬爱国主义精神，进行理想信念教育、道德情操教育、“三观"教育等。

（三）课程竞赛的设计与实施情况分析

本学期结合《集成电路工艺基础》课程特点，举办了仿真设计竞赛。竞赛内容主要为利用集成电路工艺基础理论知识,并结合试验箱完成项目的设计，使学生学做合一，以比赛形式促进学生学习兴趣。并使得电子科学与技术专业熟悉专业，培养学生的实践动手能力，促进学生团队合作、分析问题和解决问题的能力，营造良好的学习氛围，检验学生对于《集成电路工艺基础》课程的学习效果。

（四）双创教育的荣誉“融入”设计与实施情况分析

鼓励学生创新、创业，在开课说明中本部分内容有所体现。在本学期的授课过程中鼓励学生参加创新创业大赛，提高其实践能力，做到理论与实践相结合。

三、教学质量情况分析

（一）教学目标达成度分析

本门课程教学目标的达成度为。

（二）存在的问题与解决对策

存在的问题：

1.忽略了对基本概念的实例化讲解，导致学生没有将基本概念与实际相结合，理解程度不够。

2.教师没有注重学生分析问题和解决问题的能力的培养。

3.对复杂集成电路的分析练习不够，导致学生综合能力不强。

解决对策：

1.应该进一步加强对集成电路工艺基础课程的理解和掌握，在讲授的过程中，多联系生活实际，培养学生解决问题和分析问题的能力；在教学中，发散学生的计算思维，为学生今后的毕业设计和就业等方面打下良好的理论基础。

2.在今后的教学过程中学习手册部分要多增加综合性的练习，多一些与专业相关联的题目，加强学生分析和解决问题的能力。

四、未来的建设规划

从本次成绩来看，在今后的教学中，教师应该从以下几个方面进行改进：教师在教学过程中要将基础知识与实例相结合，帮助学生更好的理解理论基础，同时进行知识穿线，建立知识树，尤其要加强对综合性较强的电路的训练。其次要面向全体，因材施教，不能一刀切，要重视提高后进生的及格率，已达到全面提升学生成绩的目的。最后，在教学期间教师还应该注重培养学生对复杂问题的分析和解决能力，加强团队合作能力，让学生能够学以致用，为今后打下坚实基础。